Категория: Ростовое оборудование
Предназначен для модернизации установок «Редмет-15» и «Редмет-30» с целью увеличения загрузки тигля, а также размеров и массы выращиваемых монокристаллов кремния.
*Мы свяжемся с вами для уточнения формы оплаты и способа доставки заказа
Общая информация
Технические характеристики
|
Загрузка тигля до |
60 кг |
|
Максимальный диаметр тигля |
457 мм |
|
Диаметр выращиваемого кристалла, до |
200 мм |
|
Длина выращиваемого кристалла, до |
1500 мм |
|
Установленная мощность |
160 кВт |
|
Величина осевого перемещения затравки |
1600 мм |
|
Скорость перемещения затравки, мм/мин - рабочая - маршевая |
0,3-7,0 450 |
|
Частота вращения, об/мин - затравки - тигля - величина осевого перемещения тигля |
3-30 2-20 250 мм |
|
Скорость перемещения тигля, мм/мин - рабочая - маршевая |
0,03-0,78 50 |
Среда камеры печи (давление в мм ртутного столба)
| Вакуум | 5х10-2 |
| Инертный газ | 5-20 |
| Расход инертного газа |
500-2500 л/час |
| Расход воды |
до 10 м3 / час |
| Габариты печного агрегата |
1х1,9х6,5 м |
| Масса печного агрегата |
3,0 т |
