Категория: Ростовое оборудование
Установка предназначена для выращивания монокристаллов кремния.
*Мы свяжемся с вами для уточнения формы оплаты и способа доставки заказа
Общая информация
Состав основных модернизированных узлов установки:— Рабочая камера
— Камера кристалла
— Шибер
— Привод верхний
— Привод нижний
— Колона
— Выгружатель кристалла
Технические характеристики
| Диаметр слитка, мм | 150...250 |
|
Загрузка, кг: - тигель 18" (457 мм) - тигель 20" (508 мм) |
90 120 |
|
Максимальный ход затравки, мм |
3000 |
|
Максимальный ход тигля, мм |
320 |
|
Дверь шлюзовой камеры, мм |
360х1800 |
|
Диаметр горловины рабочей камеры, мм |
270 |
|
Скорость подъема затравки, мм/мин: - рабочая - ускоренная |
0,05-8,0 1-300 |
|
Скорость подъема тигля, мм/мин: - рабочая - ускоренная |
0,01-4,0 1-50 |
|
Вращение затравки (реверсивное), об/мин |
1-30 |
|
Вращение тигля (реверсивное), об/мин |
1-20 |
|
Остаточное давление в камере: - предварительное, мм рт. ст. |
1х10-3 |
|
Рабочее давление инертного газа: - в камере, мм рт. ст |
2-30 |
|
Расход инертного газа, л/час |
500-3000 |
|
Расход охлаждающей воды, м3/час |
15...20 |
|
Площадь занимаемая оборудованием, м |
27 |
|
Ориентировочная масса, кг |
4500 |
